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IPH半导体中度严苛系列

发布时间:2024-05-24 15:27:46人气:41
  • IPH半导体中度严苛系列


用途:


Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特点:


IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。

它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。

汉钟独特型线设计,上海,台湾,制造。

较之前的版本节能25%,配置有省电模式。

带有加热系统避免制程物沉积。

优化的尺寸,即插即用。

 

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